* Sustitución de: Aceite de la bomba de vacío Filtro aire de evacuación
Limpieza del interior del equipo:
Verificación/calibrado de:Fuentes de alimentación; Potencia de RF; Test de estanqueidad;
• Sustitución de: Filtro de aire de entrada (HEPA); Filtro catalítico de evacuación; Lámpara UV del detector de H2O2; Filtro del sistema de inyección; Tubos de la bomba de aire del sistema de inyección; Junta tórica de la puerta; Soportes del electrodo; Soportes de las bandejas; Sensores de temperatura;Filtro de aire de entrada;
Verificación/calibrado de; Fuentes de alimentación; Conversor analógico/digital; Potencia de RF; Test de estanqueidad; Sistema de detección de H2O2; Temperaturas; Medidores de presión;
